이온주입 장비 생산 확대…아시아·태평양 공급거점 확충
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| ▲ 지난 7월 반도체 장비업체 엑셀리스 코리아 관계자 정장선 평택시장(가운데) [평택시청] |
삼성전자와 SK하이닉스에 반도체 장비를 공급하는 미국 엑셀리스 테크놀로지가 경기 평택에서 이온주입
장비 생산공장 증설에 착수했다.
20일 산업통상부에 따르면 엑셀리스 테크놀로지(대표 러셀 로)는 이날 평택 오성산업단지에서 '엑셀리스 아시아 오퍼레이션 센터(AAOC)' 증설 착공식을 개최했다.
엑셀리스는 이번 증설에 3500만달러를 투자한다. 신규 시설은 연면적 약 1만8580㎡ 규모로, 2028년 하반기부터 생산을 시작할 예정이다.
AAOC는 엑셀리스가 미국 외 지역에서 운영하는 유일한 제조거점이다. 이곳에서 생산한 장비를 국내 반도체 기업과 중국·일본·싱가포르 등 아시아 지역에 공급하고 있다.
이온주입 장비는 반도체에 미세한 입자를 넣어 전기가 흐르는 정도를 조절하는 설비다.
이번 증설은 지난 9월 미국에서 열린 투자신고식에서 발표한 계획에 따른 것이다. 엑셀리스는 생산시설 확충과 함께 연구개발 및 시제품 생산시설도 마련할 계획이다.
토요경제 / 이슬기 기자 sgpress@sateconomy.co.kr
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