ASML화성캠퍼스준공…삼성·SK하이닉스와EUV협력강화

IT·플랫폼 / 최성호 / 2025-11-12 08:58:22
1만6000㎡규모첨단장비재제조·교육거점완공
공급망안정·기술내재화‘양국협력모델’부상
▲세계1위 반도체 장비기업 ASML 전경/사진=연합뉴스

 

[토요경제 = 최성호 기자] 세계 유일의 극자외선(EUV) 노광장비 제조사 ASML이 한국을 아시아 핵심 기지로 삼았다. 경기도 화성에 아시아 최대 규모의 첨단 장비 캠퍼스를 완공하고, 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 협력을 강화한다.


12일 산업통상자원부에 따르면 ASML 화성캠퍼스 준공식이 이날 경기도 화성시 송동지구에서 열렸다. 이번 프로젝트에는 총 2400억 원이 투입됐다.

화성캠퍼스는 부지면적 1만6000㎡ 규모로, EUV·DUV 노광장비 재제조센터(Repair Center) 와
트레이닝센터(Training Center) 로 구성됐다.

재제조센터에서는 노광장비의 부품 교체·수리·리퍼브(refurbishment) 작업이 이뤄지고,
트레이닝센터에서는 장비 운용 기술과 유지보수 노하우를 전수한다.

ASML은 네덜란드에 본사를 둔 세계 최대 반도체 장비 업체로, 5나노 이하 초미세공정에 필수적인 EUV 노광장비를 전 세계에서 독점 공급한다. 

 

화성캠퍼스 완공으로 ASML은 한국을 아시아 최대 기술·서비스 허브로 격상시켰다. 삼성전자와 SK하이닉스 등 주요 고객사와의 공정 협력 및 기술 지원도 한층 강화될 전망이다.


업계 관계자는 “EUV 장비 한 대 가격이 3000억 원에 달한다”며 “국내에서 유지보수와 부품 수리가 가능해지면 운용 효율과 비용 절감 효과가 크다”고 말했다.

ASML은 이번 투자를 계기로 국내 소재·부품·장비(소부장) 기업과의 연계 생태계도 확대한다.


EUV 장비 유지보수 과정에서 필요한 부품 생산과 공급을 국내 협력업체와 함께 추진해 한국형 반도체 생태계를 강화할 계획이다.

정부는 ASML의 화성 투자를 외국인 직접투자의 성공 사례로 평가했다.


강감찬 산업부 무역투자실장은 “한국 반도체 산업 발전에는 정부·지자체·글로벌 기업 간 협력이 중요하다”며 “화성캠퍼스는 그 협력의 상징적 결과”라고 말했다.

그는 “정부는 현금지원 확대와 세제·입지 인센티브 강화, 규제 개선 등을 통해 글로벌 기업이 투자하기 좋은 환경을 만들겠다”고 덧붙였다.

화성캠퍼스는 단순한 생산시설이 아니다. 국내 반도체 공급망 안정화 거점으로 기능하며
장비 납기 단축·운용 리스크 완화·기술 내재화에 기여할 것으로 기대된다.
 

산업연구원 관계자는 “ASML의 현지화 투자는 한국 반도체 생태계를 글로벌 협력 체계 속에 편입시키는 전략적 의미가 있다”고 분석했다.

ASML 화성캠퍼스 준공은 삼성전자·SK하이닉스·ASML로 이어지는 ‘EUV 동맹’의 가시적 출발점으로 평가된다. 


한국과 네덜란드 간 반도체 기술 협력도 이번 프로젝트를 계기로 더욱 강화될 전망이다. 

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